Каталог / Wielfried Lerch / Rapid Thermal Processing and beyond: Applications in Semiconductor Processing
Rapid Thermal Processing and beyond: Applications in Semiconductor ProcessingWielfried Lerch, Jürgen Niess
Издание 2008 года
Rapid Thermal Processing and beyond: Applications in Semiconductor Processing
Special topic volume with invited papers only
- Издательство
- Trans Tech Publications Ltd
- Год
- 2008
- Страниц
- 427
- Язык
- английский
- ISBN
- 9783038131731
Отзывы читателей
Отзывов об этой книге пока нет. Напишите заметку о ней в приложении «Мой Каталог» и поделитесь ею в ленте. Вся лента отзывов →